图 半自动米级单晶CVD系统

大单晶二维原子材料生长平台主要围绕单晶二维材料及其相关单晶衬底材料的制备和应用展开研究。量子研究院建设了二维大单晶石墨烯材料的中试生长平台，搭建了半自动米级单晶CVD系统。半自动米级单晶CVD系统实现了自动控制、600℃以上的不降温连续生长和远程监控。

基于搭建的半自动米级单晶CVD系统，实现了15cm×15cm的单晶石墨烯的薄膜的批量制备，达到国际领先水平。利用热力学成核控制和动力学核长大控制技术，实现了A4尺寸单晶铜箔库的制造，得到了超过30种的单晶铜箔（Nature 2020, 581,406）。该项技术在2021年评选中入选“2020年（首届）中国半导体十大研究进展”以及2020年中国重大技术进展。在高指数单晶镍(Ni)箔上连续外延生长厚度达10万层的单晶石墨薄膜（Nature Nanotechnology 2022, 17, 1258）。