10月31日，由深圳国际量子研究院主办，Heidelberg Instruments、Stella协办的“海德堡激光直写纳米加工技术交流研讨会”在深圳成功举办。来自哈尔滨工业大学（深圳）、香港科技大学（广州）、中山大学、华南理工大学、深圳清华研究院、深圳大学、季华实验室等多所高校及科研机构，以及比亚迪汽车工业有限公司、广州增芯科技有限公司、深圳市先地图像科技有限公司等企业代表齐聚一堂，共同探讨微纳加工技术的前沿进展。

会议伊始，Heidelberg Instruments大中华区总代理邱重铠致开幕辞。他表示，Heidelberg Instruments深耕多年致力于微光刻技术领域的研发与创新，深圳国际量子研究院在科研与技术应用方面成果丰硕，非常荣幸能够携手推动微纳加工技术的创新与发展，并预祝会议取得圆满成功。此外，Heidelberg Instruments 中国售后服务与技术支持中心总经理魏鑫介绍了海德堡仪器在中国40年来的发展历程，他指出，随着国内对半导体产业的大力投入，海德堡仪器也在国内发展步入快车道，总装机数量超过四百余台，设备复购率也超过40%，中国售后服务与技术支持中心将继续扩大办事处规模，为国内微光刻的快速发展提供更高效更优质的技术支持。

邱重铠、魏鑫致辞

本次会议特邀德国Heidelberg Instruments工艺与应用部经理 Dr. Christian Pies，系统介绍了海德堡仪器在激光直写领域长达40年的技术积累。他在报告中重点分享了德堡仪器目前在灰度光刻与二维光刻的极限加工能力研发应用的进展，尤其对二维与灰度光刻系统的性能升级，为实现领先行业的200nm分辨率与6.5万级灰度调控能力，提升微纳加工迈向更高精度与复杂度结构，助力微纳加工解决方案与科研创新的深度融合发挥重要作用。

Dr. Christian Pies作报告

深圳国际量子研究院量子器件与芯片加工中心工程师王浩宇从用户角度出发，分享了激光直写设备的日常维护要点、工艺开发流程及典型应用案例，为与会者提供了宝贵的实践经验。

王浩宇作报告

Heidelberg Instruments Nano原厂专家Dr. Gao带来题为《NanoFrazor-热探针扫描成像技术与纳米加工解决方案》报告，系统介绍了NanoFrazor热探针扫描成像技术。该技术核心特点是通过超尖锐的热探针使热敏抗蚀剂局部升华来进行图案化，过程不涉及任何带电粒子，在加工过程中不会对低维纳米材料造成损伤；通过热探针与激光直写协同模块定制，可同时写入和观察15nm 分辨率的纳米结构，此项创新的技术系统，引起与会者的广泛兴趣与热烈讨论。

Dr. Gao作报告

此外，量子器件与芯片加工中心高级工程师贾浩带领与会者参观了深圳国际量子研究院量子器件与芯片加工中心，现场讲解了中心概况、各类微纳加工设备的运行与工艺特性，并分享了中心在微纳结构制备与器件开发等方面的创新成果。

贾浩带领参会人员参观量子器件与芯片加工中心

本次研讨会不仅是一次技术交流，更是国量院推动产学研协同创新、服务区域科技发展的重要举措。未来，研究院将持续搭建高水平的交流平台，助力微纳技术领域的研究突破与产业转化。